选用多功能离子轰击炉进行离子与低真空碳氮共渗，或渗碳后淬火，主要有叁种制式。第一种是炉盖电动旋启盖后直接取出快速淬火，能够省去两次加热，节省了能耗，也不会产生内氧化；第二种是炉盖电动旋升启盖后机械爪抓取特制料筐与工件快速淬火，比第壹种机械化程度高，改进了安全出产和可安稳工艺质量；第三种是可配套真空淬火室，功能更好、但造价高。以上三种装备的离子与真空渗碳、或碳氮共渗的工艺作用均优于真空渗碳和多用炉、或井式气体渗碳炉的渗碳作用。

　　最常用的是井式渗碳炉渗碳，国内有许多，其缺点：炉体难以密封，只做渗碳，不做碳氮共渗（会产生内氧化），不只渗速慢、变形大、能耗高、环境污染严峻。零件表层碳浓度及渗层的浓度梯度无法控制。其耗气耗电费用约是离子工艺的两倍以上。

　　真空渗碳及碳氮共渗其本钱与离子工艺本钱相差不大，但渗速比离子慢，设备价格比离子炉贵，国外已筛选。

　　多用炉国外选用较多，价格是离子炉的多倍。它能渗碳及碳氮共渗，一般带淬火设备；有的有前室、后室。多用炉还有附加设备。例如要有孵化气设备产生炉（吸热式或放热式）。当然也有滴入式多用炉等等，但价格均较贵。它合适大批量、接连作业，变形量比气体工艺的小、但比离子与真空工艺的要大得多，工艺本钱大于离子渗，渗速也比离子的慢，也可直接淬火不要二次加热。