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本所自开发RTP快速退火系列新产品以来已近30年，具有全球名列前茅的温控技能。自1988年受中科院托付研制光照快速热处理设备以来与清华，北大，浙大，半导体所，微电子所，物理所等高校研究所共同进步，为华为，三安光电，中电科等半导体企业保驾护航。市场占有率超越80%。也被一些海外的教授专家所喜爱。如香港理工大学，香港中文大学，香港科技大学。美国堪萨斯州立大学，美国扬斯顿州立大学和新加坡南洋理工大学也稀有台在科研教育第一线。
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